第430章 东微半导体（2 / 2）
价值，绝不亚于一台光刻机。
在芯片制造流程中，如果说光刻机是“雕刻师”，用光在晶圆上画出精美的图案。
那么蚀刻机就是“刻刀”，负责将图案上没有被光刻胶保护的部分，一层一层地、以纳米级的精度蚀刻掉，从而形成晶体管的沟槽、金属互连的线路。
一次光刻，往往伴随着数次甚至数十次的蚀刻。
蚀刻的精度、速度和均匀性，直接决定了芯片的良率和性能。
“尹总，你们这台设备，对标的是国际上哪款产品？”马宇腾问。
尹仕尧赞许地看了他一眼，这个问题很内行。
“对标的是应用材料公司的eax系列。当然，在一些关键指标上，我们还有差距。但我们已经实现了从零到一的突破。”
他领着两人继续往里走，来到一个独立的研发局域，这里摆放着各种零部件和设计图纸。
“差距主要在哪里？”马宇腾追问。
“专利。”尹仕尧的回答只有一个词。
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